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磐锋精密申请一种半导体零件的智能检测方法和装置专利
发布时间:2025-10-23 10:32:30 浏览次数:5265深圳市磐锋精密技术有限公司申请一种“半导体零件的智能检测方法和装置专利”的专利,公开号CN120629503A,申请日期为2025年8月,公开日期为2025年9月。
本发明属于洁净度检测技术领域,涉及一种半导体零件的智能检测方法和装置,包括洁净室的安装测试组件;由氮气供气装置向洁净室内部供气,吹扫内部零件表面的微尘粒子,并收集微尘颗粒的自动化装置。
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